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有關工業高純氣體的分析
來源：www.nkljio.com 發布時間：2022年12月13日
莆田工業高純氣體分析的核心是對其中的規定雜質進行定性、定量測定。由于高純氣體中的限定雜質數目多, 且含量低, 通常在10-6～ 10-7范圍, 因此對測試設備和分析人員均有較高的要求。
從事高純氣體分析的分析人員應熟悉氣體分析的一般過程, 具有正確選擇檢測方法的能力, 并通過實踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測試設備, 是開展高純氣體檢測工作的前提。
隨著半導體工業的發展, 對莆田工業氣體產品的質量要求越來越高, 對高純氣體分析的測試技術要求亦在不斷提高。可以斷言, 高純氣體測試手段及方法的研究是一項永無止境的工作。
目前, 用于莆田工業高純氣體測試的設備主要有:色譜儀、質譜儀、色- 質聯用儀、光譜儀、電化學儀器、露點儀及各種專項測試儀表。經典的化學分析方法也是測定化學活性雜質的常用手段。
從事高純氣體分析的分析人員應熟悉氣體分析的一般過程, 具有正確選擇檢測方法的能力, 并通過實踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測試設備, 是開展高純氣體檢測工作的前提。
隨著半導體工業的發展, 對莆田工業氣體產品的質量要求越來越高, 對高純氣體分析的測試技術要求亦在不斷提高。可以斷言, 高純氣體測試手段及方法的研究是一項永無止境的工作。
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